技术突破-我公司成功研制出用于PVD镀膜的镍磷系列靶材

日期:2021-08-25

我公司采用独有的工艺成功研制出全球唯一的镍磷系列靶材,制备出Ni92P8Ni85P15Ni80P20系列靶材。解决了制备PVD技术所需镍磷靶材的技术难点。

镍磷系膜是广泛应用于印刷电路板、手机和智能手表芯片、IGBT功率电子器件以及常规钢铁、锌合金、铝合金、铜合金、陶瓷、玻璃、塑料甚至金刚石工作表面的常用镀层,具有光泽度高、硬度高、耐磨性优异、耐腐蚀性强、优异的电磁屏蔽特性、优异的钎焊和界面过度性能。

当前镍磷薄膜都是采用化学镀方法镀在工件或芯片表面,不仅存在严重的环保问题,而且在芯片镀膜时其化学镀层(含有结晶水)在后续PVD镀钛和铜镀层时往往造成镀层脱落,严重影响芯片制造的成品率并提高了生产成本。

与化学镀和电镀相比,PVD技术沉积的膜层具有致密性更高、膜层厚度更均匀的特性,特别是,PVD在芯片表面镀镍磷屏蔽膜可以与后续的PVD镀铜膜、钛膜在一道PVD工序中完成,不仅解决了对周边环境的污染问题、不对外排放废水和废气,而且产品质量大幅度提高、成本显著降低,消除了芯片制造过程中的一道繁杂工序。

本产品将在IGBT器件、5G手机、智能手表、智能芯片等多个领域获得广泛应用。




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